Глава 1974 - 2. Шаг второй: Опрокидывая моря! ЭУВ-литограф «Рассвет A220» — новый козырь босса Чэня!
Металлический корпус в холодном свете ламп отливал благородным серебром, бесчисленные кабели и трубки оплетали его, словно вены и артерии живое существо. В смотровом окне основной камеры мерцало таинственное бледно-фиолетовое свечение.
Технологические пропасти, связанные с источником света, оптической системой и двойным рабочим столом, которые казались непреодолимыми, были пройдены ими одна за другой.
В зале стояла неестественная тишина, нарушаемая лишь низким, едва слышным гулом системы вентиляции. Инженеры в белоснежных комбинезонах, похожие на хирургов в операционной, плавно перемещались вокруг установки, проводя финальную проверку узлов.
— Босс, все подсистемы завершили самодиагностику. Вакуумные установки готовы к запуску, — доложил Линь Нань. Его голос, обычно звонкий, сейчас звучал хрипло от волнения и бессонных ночей.
Чэнь Яньсэнь коротко кивнул, не отрывая взгляда от машины:
— Действуйте согласно протоколу. Начинайте постепенное вакуумирование оптического тракта.
Как только приказ был отдан, атмосфера в диспетчерской натянулась до предела. Мощные вакуумные насосы взревели, переходя на рабочий режим. На экранах цифры, отражающие давление внутри системы, начали стремительно падать, словно срываясь в бездну: 0,01 Па... 0,0001 Па... 0,000001 Па... Система неумолимо стремилась к состоянию глубокого вакуума.
У всех присутствующих сердца подскочили к самому горлу. Идеальная вакуумная среда — это фундаментальное условие для передачи экстремального ультрафиолетового излучения. Малейшая утечка, крошечная пылинка или молекула воздуха — и все титанические усилия последних месяцев пойдут прахом.
Прошло, казалось, целое ведро времени, прежде чем Ван Сянчао внезапно выкрикнул:
— Давление стабилизировалось на отметке 0,6 Паскаля! Целевое значение достигнуто!
В диспетчерской пронесся едва слышный вздох облегчения. Кто-то незаметно сжал кулаки. Первый шаг был сделан успешно.
Почему всё — от источника света и осветительной оптики до системы переноса масок и модулей подачи пластин — должно находиться в абсолютном вакууме? Ответ прост: длина волны ЭУВ-излучения экстремально мала, и оно поглощается практически любым веществом, включая обычный воздух. Только в вакууме можно свести к минимуму потери энергии, гарантируя, что фотоны доберутся до кремниевой подложки.
За разработку этого сложнейшего модуля отвечал Чжан Яньцзе вместе с десятками инженеров из Шэньянского института оптико-механических исследований. Поэтому сейчас он нервничал больше всех, боясь, что какая-нибудь мелочь подведет команду.
— Начинайте прогрев источника света. Мощность — на минимальный уровень, — спокойно произнес Чэнь Яньсэнь.
Настал самый ответственный момент. Первое «чудовище», прирученное «Синъюань Технолоджи» — источник плазменного излучения с магнитным удержанием разряда (МКР-ЭУФ), — должно было пробудиться. Если расчеты верны, электромагнитное поле заменит лазер в качестве средства возбуждения и удержания плазмы, позволяя получить стабильное излучение с длиной волны 13,5 нанометра.
Секунды капали, словно тяжелые капли свинца. На главном мониторе ровная базовая линия вдруг вздрогнула. А затем вверх пополз слабый, но отчетливый пик сигнала.
— Есть сигнал! — не выдержал один из молодых исследователей. Его голос сорвался на высокой ноте от переизбытка чувств.
Каждый в этой комнате понимал: создание первого собственного ЭУВ-литографа имеет для Хуаго колоссальное стратегическое значение. Это был вопрос выживания в технологической войне.
Почти одновременно детектор мощности в конце оптического тракта выдал первые данные: 107 Ватт!
Для голландской АСМЛ это число было давно пройденным этапом, но здесь, в этой лаборатории, оно заставило диспетчерскую погрузиться в секундную тишину, которая тут же взорвалась оглушительными аплодисментами и радостными криками! Люди обнимались, у многих на глазах блестели слезы.
Линь Нань почувствовал, как его руки мелко дрожат. Он крепко вцепился в поручень, заставляя себя сохранять хладнокровие. Чэнь Яньсэнь же оставался невозмутим. Он поднял руку, призывая к тишине, и ликование быстро стихло.
— Повышайте мощность, — скомандовал он.