Глава 1970 - 1. Следующий шаг: Свернуть горы! На пути к прототипу Альфа! Первые 4217 учеников!
Знойный полдень в Электронном порту «Цзычжу».
Бывшая производственная база «Цзыцзин Полупроводник» к этому моменту преобразилась до неузнаваемости. По мере того как центр оптических разработок «Синъюань Технолоджи» продолжал свою неудержимую экспансию, его первоначальная площадь в 20 000 квадратных метров разрослась до внушительных 120 000.
Из этого огромного пространства лишь 30 000 квадратных метров занимала зона производства кристаллов — так называемый фаб-завод, а также вспомогательные помещения: энергетические цеха, хранилища химикатов, системы очистки сточных вод и выхлопных газов, а также мощнейшие установки кондиционирования воздуха.
Оставшиеся 90 000 квадратных метров были разделены на три функциональных уровня. Внешний слой представлял собой буферную зону площадью около 20 000 квадратных метров, где располагались центр обучения персонала, склады материалов и площадки для имитационного тестирования. Эту территорию совместно охраняли сотрудники охранной компании «Фэнсунь» и оперативники Ассоциации безопасности страны, формируя первый, практически непреодолимый рубеж обороны.
Средний слой — это 20 000 квадратных метров «чистых зон», ставших главным полем битвы для исследователей. Это пространство было тщательно сегментировано на отделы разработки оптических систем, площадки для испытаний механических конструкций и лаборатории программных алгоритмов.
Самое сердце комплекса — основная лаборатория площадью 50 000 квадратных метров — располагалось в самом центре. Она состояла из восьми независимых «наноразмерных темных комнат». Стены этих помещений были усилены медной сеткой для защиты от электромагнитных помех, колебания температуры внутри строго ограничивались диапазоном в 0,1 градуса Цельсия, а амплитуда вибраций не превышала 5 нанометров.
Здесь находилась ключевая площадка для сборки и тестирования всей установки ЕУВ-литографа. На электронных табло у входа в лаборатории в режиме реального времени отображались данные о чистоте воздуха, температуре, влажности и уровне вибраций. Правила были суровы: вход посторонним лицам без специального допуска был категорически запрещен.
В штате центра числилось более 1300 научных сотрудников. Их средний возраст составлял 37 лет, и более 90% из них обладали докторскими степенями. Команда объединяла экспертов из 12 различных областей: от оптической инженерии и проектирования механики до вакуумной физики и разработки программного обеспечения.
Таким образом, филиал «Синъюань Технолоджи» в Шанхае лишь на бумаге значился заводом по производству чипов. На деле же это была научно-исследовательская база мирового уровня, где создавалось самое сложное устройство в истории человечества — ЕУВ-литограф.
Войдя в лабораторию, Чэнь Яньсэнь первым делом направился к Линь Наню, Ван Сянчао и Чжан Яньцзе. После глубокого обсуждения текущих дел и подтверждения того, что проектирование систем вакуума и сверхчистой среды продвигается стабильно, он немедленно созвал группу докторов наук и академиков в области микро- и нанооптики. Повестка дня была критической: развертывание разработки систем прецизионного измерения совмещения слоев (оверлей), фокусировки и выравнивания.
Если судить по формальным регалиям, Чэнь Яньсэнь был единственным в этой комнате, кто имел лишь диплом бакалавра. Однако, когда дело доходило до права голоса, толпа седовласых технических титанов, разменявших шестой десяток, неизменно окружала его, почтительно называя «Учитель Чэнь».
Все прекрасно понимали: без Чэнь Яньсэня они бы даже не знали, в каком направлении двигаться к следующему технологическому узлу. Когда Чэнь Яньсэнь недавно уезжал на совещание в Пекин, прогресс в исследованиях мгновенно замер. Академики лишь растерянно переглядывались, окончательно осознав горькую истину: они способны лишь на безупречное исполнение операций, проведение тестов и фиксацию параметров. Но если кто-то из них попытается проявить инициативу и принять стратегическое решение в ключевом вопросе — он, скорее всего, только все испортит.
Осознав это, они отбросили гордость и словно «вернулись в юность». Целыми днями они следовали за Чэнь Яньсэнем, чувствуя себя так, будто перенеслись на двадцать-тридцать лет назад, в те времена, когда они были простыми студентами, жадно ловящими каждое слово своего наставника.
Для Чэнь Яньсэня первоочередной целью сейчас было завершение разработки всех подсистем. Как только каждый модуль будет готов, наступит этап интеграции и отладки, результатом которого должен стать первый прототип Альфа — внутренняя тестовая машина.
Но на этом пути перед ним все еще высились «великие горы», требующие покорения: точность измерения совмещения, системы выравнивания и фокусировки, поддержание сверхчистой среды, создание экстремального вакуума, а также дефектоскопия фотошаблонов и кремниевых пластин.
* * *
Пока Чэнь Яньсэнь был поглощен совершенствованием алгоритмов для системы измерения точности совмещения, правда об инциденте в детском саду «Радужный домик» наконец всплыла на поверхность.
Как только новости разлетелись, весь интернет взорвался от негодования.