Глава 1883 - 2. Тупик с масочным столом! 34,82 миллиарда за день? Старина Ма: «Сможем ли мы победить?»
Более того, масочный стол обычно разрабатывается как неотъемлемая часть всей литографической установки. Никто не продаёт его отдельно как запчасть.
Чэнь Яньсэнь на мгновение задумался, постукивая пальцами по столу, а затем медленно произнёс:
— Есть ли у «Хуачжо Цзинке» конкретное техническое направление для разработки стола под 28 нанометров?
Услышав это, Линь Нань поспешно вывел на общий экран заранее подготовленный документ.
— Старина Ху упоминал, что «Хуачжо Цзинке» начала предварительные исследования по 28-нанометровому столу ещё три года назад. Но они застряли на двух ключевых проблемах.
Во-первых, контроль положения при высокоскоростном движении. Сейчас их сервосистема начинает выдавать погрешности в несколько микрометров, как только ускорение достигает 2G.
Во-вторых, компенсация тепловой деформации в вакуумной среде. Металлические компоненты стола расширяются или сжимаются даже при колебании температуры в 0,1 градуса Цельсия, что мгновенно убивает точность позиционирования. Они пробовали использовать углеволоконные композитные материалы, но стоимость заоблачная, а технология обработки ещё слишком сырая.
«2G?» — Чэнь Яньсэнь не знал, смеяться ему или плакать.
Нужно понимать, что чем выше ускорение масочного стола, тем меньше времени тратится на его разгон и торможение. Это напрямую повышает эффективность литографии и снижает временные затраты на производство каждого чипа. Для массового производства это критически важный показатель.
Для сравнения: у ДУВ-литографа АСМЛ НХТ 1950i среднее ускорение масочного стола составляет 15G, а пиковое достигает 25G!
Масочный стол от «Хуачжо Цзинке» годился разве что для лабораторных опытов, но о коммерциализации не могло быть и речи.
Чэнь Яньсэнь окончательно осознал: при нынешнем уровне отечественной цепочки поставок компании «Синъюань Технолоджи» будет крайне трудно полностью овладеть основными технологиями оптических систем. Это была суровая реальность, которую невозможно обойти простым вливанием денег.
Ускорение в 2G по сравнению с пиковыми 25G у АСМЛ выглядело как попытка младенца, едва научившегося ползать, соревноваться в стометровке с олимпийским спринтером. Разрыв был чудовищным.
К тому же, чрезмерное ускорение создаёт колоссальное давление на механическую структуру, систему привода и систему управления. Это ведёт к потере точности, снижению стабильности и резкому сокращению срока службы оборудования. Высокое ускорение также вызывает повышенное энергопотребление и тепловыделение, что требует ещё более продвинутых технологий охлаждения.
Было очевидно, что техническое решение «Хуачжо Цзинке» — это своего рода «хитрость». Они намеренно занизили показатели ускорения, чтобы было проще обеспечить хоть какую-то точность и стабильность. Но такой стол никогда не удовлетворит реальные потребности крупносерийного производства микросхем.
— Я понял. Пока отложите вопрос с масочным столом. Сосредоточьте все силы на системах вакуумного контроля и контроля окружающей среды, — распорядился Чэнь Яньсэнь, обдумывая дальнейшие шаги.
Закончив с этим, он перевёл взгляд на Лян Цзиньсуна и неспешно спросил:
— Есть ли прогресс по выходу годной продукции?
— Босс, текущий показатель выхода годных изделий стабилизировался на уровне 97,5%. Если поставки материалов будут стабильными, я смогу в течение трёх месяцев довести годовой объём производства до уровня 1 миллиарда долларов США, — уверенно ответил Лян Цзиньсун.
Чэнь Яньсэнь удовлетворённо кивнул и жестом попросил Ляна продолжить доклад о производственных мощностях, оптимизации процессов и этапах контроля качества.
Через полчаса видеоконференция завершилась.
Оставшись один, Чэнь Яньсэнь открыл технический документ, присланный Линь Нанем. Технические трудности масочного стола в основном были сосредоточены в области высокоточного управления движением, достижения высокого ускорения и синхронизации с кремниевым столом.
Для управления ускорением требовались такие устройства, как реактивные линейные двигатели и звуковые катушки. А за стабильность и точность отвечали такие детали, как шарико-винтовые пары, аэростатические и магнитные подшипники.
На самом деле, все эти ключевые компоненты можно было найти у поставщиков внутри страны. Проблема заключалась в том, что их продукция отставала от мировых стандартов на несколько поколений.
Чэнь Яньсэнь быстро пробежал глазами текст. Одним чтением отчётов проблему не решить — нужно ехать на производство, погружаться в процесс и через бесконечные пробы и ошибки искать точку прорыва.
Подумав об этом, он оставил сообщение Линь Наню с поручением закупить партию соответствующего оборудования для тестов.
* * *
Тем временем в Шанхае, на улице Лунцао, в офисном здании «Июань».