Глава 1833 - 3. Неужели без зарубежных технологий мы не сможем создать EUV-литографическую машину?
— Ионно-лучевая полировальная машина только что была настроена. Как раз вовремя, что вы пришли, давайте вместе посмотрим параметры, — Чэнь Яньсэнь убрал правую руку и указал на соседний операционный экран, на котором мелькали многочисленные потоки данных, затем продолжил: — Я видел заготовки зеркал, которые вы изготовили в Шанхае. Чистота кремниевой основы достаточна, но начальная погрешность формы поверхности составляет 3 нанометра. Сначала необходимо провести предварительную обработку магнитореологической полировкой.
Зрачки Лю Фэнцзюня сузились, а сердце сильно забилось. Он подсознательно подошёл к операционному экрану, его взгляд упал на параметры предварительной обработки магнитореологической полировки. К его удивлению, на экране были не только чётко перечислены соотношения размеров частиц абразивной жидкости при различных скоростях вращения и градиентные кривые магнитного поля, но даже указан чёткий контрольный пункт: «погрешность после предварительной обработки должна контролироваться в пределах 500 пикометров».
— Господин Чэнь, вы заранее рассчитали кривую снятия напряжения для кремниевого материала? — не удержавшись, спросил Лю Фэнцзюнь.
Надо знать, что кремниевые зеркала в процессе шлифовки подвергаются микродеформациям из-за накопления напряжений, что является самой сложной проблемой в области сверхточной обработки и техническим препятствием, которое отечественные университеты и научно-исследовательские институты долгое время не могли преодолеть. Теперь же здесь было найдено решение. Он много лет работал в этой области, и именно потому, что он понимал, он знал, сколько изобретательности скрывалось за этим набором параметров.
Чэнь Яньсэнь слегка кивнул: — Снятие напряжения кремниевых материалов имеет задержку. При предварительной обработке необходимо оставить компенсацию в 0,3%, иначе после полировки и охлаждения возникнет ошибка отскока. Сначала займитесь делом, если возникнут вопросы, спрашивайте меня в любое время.
— Сяо Ван, настройте магнитореологическую полировальную машину по этим параметрам и сначала измерьте распределение напряжений первой заготовки, — Лю Фэнцзюнь повернулся к исследователю позади себя, его голос выдавал нескрываемое нетерпение.
Чэнь Яньсэнь больше ничего не сказал и повернулся к другому оборудованию.
В течение следующих нескольких дней Лю Фэнцзюнь неотступно следовал за Чэнь Яньсэнем, полностью приняв позу студента, ассистента и прислужника. Чем глубже он погружался в работу, тем больше осознавал удивительный талант Чэнь Яньсэня в области сверхточной обработки. Когда-то Лю Фэнцзюнь сам был лучшим на вступительных экзаменах в колледж, поступил в класс для одарённых детей Национального университета оборонных технологий и считался гением в научных кругах среди своих сверстников, но перед Чэнь Яньсэнем он был подобен муравью, смотрящему на бескрайнее небо.
Чэнь Яньсэнь проводил в Лучжоуском политехническом университете всего два часа в день, большую часть работы выполняли Лю Фэнцзюнь и его команда. Они сначала разработали технологию склейки суб-апертур, затем внедрили технологию вычислительных голографических пластин и, оснастив лабораторию атомно-силовым микроскопом и оптическим рассеивателем, первыми подняли точность измерений до пикометрового уровня.
Как только эта новость распространилась, дух всех сотрудников научно-исследовательского центра оптического отдела в Шанхае мгновенно поднялся. Ведь с появлением инструментов для тестирования появилось правильное направление для улучшения технологий.
Тем временем.
Университет Цинхуа, Центр разработки приборов Ассоциации науки и технологий Хуакэ и «Бэйфан Микроэлектроникс Технолоджи», получив новейшую версию технологии магнетронного напыления, немедленно приступили к разработке мишеней и оборудования для нанесения покрытий.
Однако первая трудность возникла из-за чистоты и однородности микроструктуры молибдено-кремниевых материалов. Узнав об этом, Чэнь Яньсэнь объединил технологии вакуумного горячего прессования и плазменного уплотнения, мгновенно устранив узкие места в чистоте и структуре мишеней.
Как только узкое место было прорвано, дальнейшие исследования и разработки пошли как по маслу, словно были открыты каналы Жэнь и Ду.
Прогресс в разработке системы освещения был стремительным!