Глава 1831 - 1. Неужели без зарубежных технологий мы не сможем создать EUV-литографическую машину?
— Снова застряли?
Чэнь Яньсэнь, дочитав отчётное письмо Линь Наня, слегка нахмурился. Он не ожидал, что, хотя сам уже выбил дверь и проложил им путь, эта группа людей всё ещё не способна сделать следующий шаг вперёд.
Текущие трудности заключались в двух аспектах:
Во-первых, асферическое зеркало в промежуточном зеркальном блоке требовало контроля точности формы поверхности до 50 пикометров и шероховатости поверхности менее 0,1 нанометра среднеквадратичной ошибки. Другими словами, это эквивалентно требованию, чтобы общая высота неровностей на площади размером с провинцию Хуэйань не превышала толщины листа бумаги формата A4.
Сложность была очевидна!
В настоящее время только компании «Сайгао» из Страны Маяка и «Цайс» из Германии обладали соответствующим уровнем технологии полировки зеркал. Однако из-за ограничений Вассенаарских договорённостей, даже за деньги невозможно было получить квоту на поставку.
А Харбинский политехнический университет, Национальный университет оборонных технологий и Чанчуньский институт оптики и точной механики при Ассоциации науки и технологий Хуакэ, хотя и обладали технологиями ионно-лучевой и магнитореологической полировки, теоретически способными достичь атомной точности формы поверхности, на практике между теорией и реальностью всегда существовал огромный разрыв.
Это всё равно что спросить, может ли Хуаго производить двигатели для гоночных автомобилей Формулы-1? По идее, в Хуаго нет недостатка в заводах, способных производить металлические поршни и цилиндры, и принцип работы двигателей внутреннего сгорания известен. Однако двигатель гоночного автомобиля Формулы-1 — это не простое сочетание отдельных компонентов; это интегрированная система передовых технологий в материаловедении, прецизионной обработке, термодинамике, электронных системах управления, и его параметры по оборотам, тепловой эффективности и надёжности достигают отраслевого максимума.
Таким образом, понимание технического принципа — это одно, а его стабильная реализация в реальном производстве — совершенно другое. Понять — это одно, а создать — совсем другое.
Во-вторых, после шлифовки зеркала необходимо нанести на его поверхность от 40 до 60 чередующихся тонких слоёв молибдена и кремния, причём погрешность толщины каждого слоя должна контролироваться на атомном уровне. Технология магнетронного напыления, необходимая для нанесения покрытия, хотя и освоена многими отечественными научно-исследовательскими институтами, всё ещё не соответствовала требованиям EUV-литографических машин по равномерности и точности.
Кроме того, точное измерение гладкости зеркальной поверхности также представляло собой сложную задачу. Нет измерения — нет обработки! Возможности измерения определяли потолок уровня полировки. В 2014 году Хуаго в области высокоточных интерферометров, особенно оборудования и технологий для измерения в EUV-диапазоне, совершенно не достигало точности измерения в 50 пикометров.
А Линь Нань, Ван Сянчао и сотни других инженеров-разработчиков уже были лучшими в оптической отрасли; если даже они не могли справиться, то найти других, скорее всего, было бы бесполезно. Они сделали всё возможное, но их возможности были ограничены.
Чэнь Яньсэнь прекрасно понимал, что если он не вмешается, это крупное научно-исследовательское совещание, скорее всего, превратится в посмешище. Немного поразмыслив, он попросил Линь Наня сначала прислать техническую документацию по ионно-лучевой полировке, магнитореологической полировке и магнетронному напылению.
* * *
В то же время.
Шанхай, оптический научно-исследовательский центр «Синъюань Технолоджи».
Линь Нань, прислонившись к лабораторному столу, выглядел бледным, его глаза были налиты кровью.
Ван Сянчао, сидя рядом, похлопал Линь Наня по плечу и сказал: — Не волнуйся, дорога появится, когда дойдёшь до горы. Потихоньку разберёмся. Раз уж есть решения, неужели мы не справимся с технологическими проблемами?
Эксперт из Шанхайского института оптико-точной механики кивнул в знак согласия: — Раньше нам не требовалась точность полировки на пикометровом уровне, поэтому технический прогресс был медленным. Теперь всё по-другому. Как только мы справимся с асферическим зеркалом системы освещения, оптическая система EUV-литографической машины будет считаться наполовину освоенной.