Глава 1785 - 3. Процесс разработки отечественного литографа сократился как минимум на десять лет!
На самом деле, по мнению Чэнь Яньсэня, такие люди, как Линь Нань, обладали неплохим интеллектом, способностью к пониманию и творческим мышлением, но из-за отсутствия доступа к передовым технологиям ЭУВ-оптики они словно блуждали в тумане, постоянно выбирая окольные пути.
Если бы у них были такие же условия для исследований, Линь Нань, возможно, смог бы разработать систему собирающих зеркал, но, к сожалению, во многих вопросах не бывает «если бы».
А Чэнь Яньсэнь смог справиться с этой технологией благодаря своей духовной силе, которая в сотни раз превосходила обычную, а также благодаря таланту «Часы Планка», позволявшему ему входить в состояние сверхбыстрого мышления.
В противном случае, даже с его обычными способностями, он, возможно, и смог бы совершить прорыв в этой технологии, но затраченное время определенно превысило бы полмесяца.
Получив техническое решение для «Системы многослойных эллиптических зеркал скользящего падения», весь оптический отдел «Синъюань Технолоджи» немедленно бросил все свои силы на его доработку, максимально быстрое воспроизведение и внедрение, стремясь успешно применить эту систему в реальном производстве.
Группа алгоритмов работала сверхурочно по ночам и завершила разработку программы мониторинга толщины пленки всего за три дня.
Эта программа могла в реальном времени собирать данные о мощности лазера и времени осаждения машины для нанесения покрытий, а также автоматически генерировать кривую погрешности толщины пленки. Если погрешность превышала 0,05 нанометра, срабатывала команда на приостановку, что позволяло проводить калибровку точности в реальном времени.
Поскольку в исследовательском центре работало множество инженеров из Института оптики и электроники, руководители научной ассоциации вскоре узнали о технологическом прорыве «Синъюань Технолоджи».
— «Старина Ху, не мог бы ты узнать для меня, нужны ли еще люди в «Синъюань Технолоджи»?» — нерешительно произнес Ван Сянчао, набирая номер Ху Жуйхуэя из Шанхайского института оптико-точной механики.
— «Что это значит? Ты хочешь уволиться? Ты шутишь?!» — воскликнул Ху Жуйхуэй, не веря своим ушам.
Ван Сянчао был настоящим столпом Шанхайского института оптико-точной механики, его основные исследования были сосредоточены в области ЭУВ-источников света, и он подал более 170 патентных заявок, являясь бесспорным авторитетом в отрасли.
— «Старина Ху, «Синъюань Технолоджи» даже собственную систему собирающих зеркал разработала, ты понимаешь, что это значит? Если они продолжат в том же духе, то система источника света будет полностью доработана, и как только завершится разработка двойного рабочего стола, у первого отечественного ЭУВ-литографа появится технологическая основа, ты это понимаешь?» — сбивчиво, но страстно вопрошал Ван Сянчао, держа телефон.
— «Старина Ван, ты ведь уже в годах…» — тихо произнес Ху Жуйхуэй, пытаясь отговорить его.
— «Чушь собачья! Шестьдесят лет — это самый расцвет для борьбы! Ладно, я лучше сам свяжусь с Линь Нанем. В конце концов, я был его старым начальником», — возмущенно воскликнул Ван Сянчао, мгновенно придя в ярость от уклончивости Ху Жуйхуэя.
По идее, ему было бы удобнее обратиться к Линь Наню напрямую, но он немного стеснялся.
— «Неужели влияние этой системы настолько велико?» — спросил Ху Жуйхуэй.
Ху Жуйхуэй, будучи инженером по проектированию микросхем, конечно, разбирался в ЭУВ-литографии, но его знания ограничивались лишь поверхностным пониманием.
Это было сродни тому, как человек, попробовавший торт, знает, из каких ингредиентов он сделан, но совершенно не разбирается в этапах и тонкостях его приготовления.
— «Процесс разработки отечественного литографа сократился как минимум на десять лет!» — уверенно заявил Ван Сянчао, его голос звучал абсолютно убежденно.
Ху Жуйхуэй прекрасно знал, что Ван Сянчао был человеком строгим и никогда не бросал слов на ветер. Он глубоко вздохнул, наконец осознав, насколько феноменальны достижения «Синъюань Технолоджи».
Новости передавались по инстанциям, и вскоре подробный отчет о расследовании быстро лег на стол Ли Цинсуна.
— «Усилить контроль за секретностью и перевести часть научных сотрудников, специализирующихся в области оптики, двойных рабочих столов, а также систем выравнивания и фокусировки, в «Синъюань Технолоджи», — распорядился Ли Цинсун.
Совещание состоялось утром, и решение вступило в силу в тот же день.
Привлекательность отечественного ЭУВ-литографа была слишком велика!
Любой, кто примет участие в этом проекте, сможет получить заслугу, достойную быть вписанной в анналы истории. Такую возможность никто не хотел упускать.
После того как решение Ли Цинсуна было обнародовано, научно-исследовательские ресурсы со всей страны начали стекаться в «Синъюань Технолоджи».
Три дня спустя 87 экспертов из Шанхайского института оптико-точной механики, Шэньянского института автоматизации Ассоциации науки и технологий Хуакэ, Национального университета оборонных технологий и других организаций постепенно прибыли в Лучжоу.
Среди них были как такие корифеи отрасли, как Ван Сянчао, десятилетиями глубоко изучавший область ЭУВ, так и молодые специалисты, проявившие себя в разработке двойных рабочих столов и систем выравнивания и фокусировки.
Даже технология двойного рабочего стола для 65-нанометрового техпроцесса, которой владела Хуачжо Чинко, была передана в Шанхай.