Глава 1784 - 2. Процесс разработки отечественного литографа сократился как минимум на десять лет!
Проблема «углового отклонения при стыковке нескольких зеркал», которую оптический отдел обсуждал в течение полумесяца, была решена в документе напрямую с помощью «лазерной интерференционной калибровки в реальном времени». Более того, там были четко указаны даже длина волны лазера и частота дискретизации, используемые для калибровки.
Линь Нань резко вскочил на ноги, его голос слегка дрожал от волнения: — «Это же просто готовый ответ!»
«В техническом документе не было подписи. Эта технология была куплена боссом, украдена, или же у Сэньлянь Кэпитал, помимо оптического отдела «Синъюань Технолоджи», есть еще одна исследовательская лаборатория?»
Линь Нань сидел на своем рабочем месте, не в силах удержаться от беспорядочных размышлений.
В прошлый раз, когда речь шла о технологии МДП-ЭУВ-источника света, он уже спрашивал об этом Лян Цзиньсуна и Чэнь Яньсэня.
Лян Цзиньсун был совершенно сбит с толку, а Чэнь Яньсэнь велел ему не совать нос не в свои дела, так что Линь Наню оставалось лишь подавить свою безмерную любознательность глубоко в душе.
Но на этот раз он снова не смог сдержаться.
Технология «Системы многослойных эллиптических зеркал скользящего падения» была слишком мощной, представляя собой абсолютно законченное и зрелое техническое решение, что невольно заставляло его размышлять.
Линь Нань долго размышлял, а затем горько усмехнулся и опустил правую руку, сжимавшую телефон.
Он знал, что если на некоторые вопросы не хотят отвечать, это означает, что о них нельзя говорить, или же ответов на них просто не существует.
Вскоре он поспешно созвал совещание ключевых разработчиков.
В конференц-зале, когда все увидели трехмерную модель «многослойной эллиптической структуры» в документе, первоначально унылая атмосфера мгновенно взорвалась оживлением.
Главный инженер группы по проектированию оптических систем, указывая на экран, взволнованно произнес: — «Внутреннее зеркало отвечает за захват ЭУВ-излучения в центральном диапазоне 60 градусов, среднее зеркало охватывает от 60 до 120 градусов, а внешнее зеркало дополняет от 120 до 180 градусов. Таким образом, эффективность сбора увеличится как минимум до 80%! Это просто несравнимо! Чем наш предыдущий проект отличался от мусора?»
Но еще большее изумление и восторг у всех вызвала подсистема терморегулирования!
В документе предлагалось встроить в корпус зеркала микроканальную систему водяного охлаждения, используя при этом высокотемпературную подложку из молибден-рениевого сплава. Это решение позволяло не только выдерживать высокотемпературное воздействие плазмы, но и предотвращать отслоение многослойного покрытия из-за чрезмерного нагрева.
— «Проблема «высокотемпературного повреждения», которая нас больше всего беспокоила, в этом решении оказалась просчитана до мелочей! Здесь даже диаметр каналов водяного охлаждения и скорость потока воды указаны!» — воскликнул инженер из группы материалов, пролистав страницу с параметрами процесса. — «Кстати, инженер Линь! В этом решении по градиентному покрытию, от молибден-кремниевой многослойной пленки до защитного слоя диоксида кремния, погрешность толщины каждого слоя должна быть не более 0,1 нанометра. При этом требуется 80 циклов осаждения методом импульсного лазерного напыления. Сможет ли наше оборудование достичь такой точности?» — обеспокоенно спросил кто-то, выражая явное затруднение.
Линь Нань нахмурился и, повернувшись к главному инженеру группы оборудования, спросил: — «Сможет ли машина для нанесения покрытий Цейс стабильно поддерживать точность в диапазоне от 0,05 до 0,1 нанометра в условиях постоянной температуры и влажности?»
Главный инженер группы оборудования, немного поразмыслив, очень строго ответил: — «При непрерывном осаждении десяти слоев молибден-кремниевой пленки минимальная погрешность толщины составляет 0,04 нанометра, а максимальная — 0,09 нанометра, что как раз соответствует требованиям проекта.
Однако проблема в том, что при каждой смене мишени и регулировке мощности лазера погрешность может колебаться от 0,12 до 0,15 нанометра. После восьмидесяти циклов осаждения накопленная погрешность, вероятно, превысит допустимые пределы».
Линь Нань на мгновение задумался, а затем предложил решение: — «Тогда добавим процесс калибровки в реальном времени. Группа алгоритмов сначала разработает программу мониторинга толщины пленки, которая будет взаимодействовать с датчиками машины для нанесения покрытий. После каждых десяти слоев осаждения процесс будет автоматически приостанавливаться, и толщина пленки будет сканироваться электронным микроскопом.
На основе полученных данных будет корректироваться мощность лазера и время осаждения для следующего цикла, чтобы поддерживать погрешность одного цикла в пределах 0,05 нанометра.
Кроме того, вокруг машины для нанесения покрытий следует установить термостатный кожух, чтобы избежать негативного влияния температуры».
Услышав это, все присутствующие мгновенно прозрели, их лица озарились пониманием.
В конце концов, Линь Нань был старшим инженером Шанхайского института оптико-точной механики, обладал как выдающимися способностями, так и глубокими техническими знаниями, а также был рекомендован Ху Жуйхуэем как ценный специалист. Поэтому было вполне естественно, что в критический момент он смог предложить эффективное решение.