Глава 1702 - 2. Надежда на возрождение отечественных литографов! Квалкомм? Всего лишь клоун!
Поначалу прогресса не было вовсе, пока Чэнь Яньсэнь не указал им на совершенно фантастический, на первый взгляд, путь.
Он предложил использовать «электромагнитное поле» вместо «лазера» для возбуждения и удержания плазмы. Вокруг зоны разряда устанавливалась группа сверхпроводящих магнитных катушек, создающих особую конфигурацию магнитного зеркала. Сначала импульсный ток возбуждал плазму, затем система многослойных зеркал собирала излучение на длине волны 13,5 нанометра, после чего происходила фокусировка и вывод луча.
Линь Нань поначалу отнесся к этому скептически, но после детального изучения понял: план босса — это не пустые фантазии, а проект с высочайшей степенью реализуемости.
И практика доказала его правоту!
— Хорошо, на этом пока всё, — буднично произнес Чэнь Яньсэнь и повесил трубку.
С его точки зрения, литография была невероятно сложным и комплексным процессом. Помимо источника света, критически важными оставались системы объективов, двойные рабочие столы, фоторезисты и многие другие модули. Решение вопроса с EUV-излучением было лишь первым шагом в походе длиной в десять тысяч ли.
На другом конце провода Линь Нань стоял в оцепенении, его лицо исказила гримаса недоумения. Ему безумно хотелось перезвонить и крикнуть боссу: «Да на базе этой технологии в следующем году можно без проблем получить высшую государственную премию в области науки и техники!»
Но потом он вспомнил, что в «Глубинной Синей Батарее» работают три лауреата Нобелевской премии, и понял, что спокойная реакция босса — это норма.
Поскольку «источник плазменного излучения с магнитным удержанием разряда» был совместным детищем «Синъюань Технологии» и Ассоциации науки и технологий Хуакэ, новость мгновенно разлетелась в научных кругах страны.
Ху Жуйхуэй, узнав об этом, вскочил со своего кресла, не в силах поверить своим ушам.
— Не прошло и четырех месяцев, а у них уже есть результат? Вы что, издеваетесь надо мной? — Ху Жуйхуэй метался по кабинету и, вопреки своему обычному хладнокровию, сорвался на грубую брань.
В то же время известие достигло оптической лаборатории Харбинского политехнического университета и Лунчжоуского института оптико-механических исследований.
Первой реакцией ученых было: «Это ложь!»
Но после многократных проверок им пришлось признать очевидное: «Синъюань Технологии» и пекинский Институт оптики и электроники действительно создали технологию EUV-излучения. Более того, они умудрились полностью обойти оборонительную стену патентов, возведенную компаниями «АСМЛ», Карл Цейсс, Самсунг, TSMC и Саймер.
Спустя два часа Ли Цинсун получил звонок от Ху Жуйхуэя.
— Немедленно заблокируйте любую утечку информации. Пусть сотрудники Ассоциации безопасности страны немедленно вылетают в Шанхай. Все, кто принимал участие в разработке, должны подписать соглашение о неразглашении, — распорядился Ли Цинсун, осознав колоссальную важность этой технологии. Его лицо мгновенно стало предельно серьезным, когда он отдавал указания секретарю.
В успехах «Синъюань Технологии» он увидел реальную надежду на возрождение отечественного производства литографов!
— Слушаюсь, господин Ли, — секретарь, не теряя ни секунды, схватил трубку и начал связываться с Ассоциацией безопасности страны, на ходу составляя списки персонала и регламенты секретности.
Ли Цинсун подошел к панорамному окну своего кабинета и, глядя на серое, затянутое смогом небо Пекина, погрузился в глубокие раздумья.
Технологический прорыв «Синъюань Технологии» в области EUV-излучения был подобен удару молнии, который разогнал туман на пути создания собственного литографа. Но вместе с этим светом пришли и темные подводные течения.
Как только новость просочится наружу, международные гиганты вроде «АСМЛ» и Карл Цейсс не будут сидеть сложа руки. Они либо попытаются затормозить процесс через бесконечные патентные иски, либо надавят на цепочки поставок, а то и вовсе задействуют «грязные» методы вне рамок закона.
В конце концов, полупроводниковая индустрия никогда не была просто соревнованием технологий. За ней всегда стояли жестокие игры интересов и борьба за мировое господство.
Развитие «Синъюань Технологии» превзошло все самые смелые ожидания!
Тем временем в оптической лаборатории «Синъюань Технологии» в Шанхае Линь Нань руководил уже третьим тестом на стабильность.
Потоки данных, мелькающие на экранах, показывали, что интенсивность выходного EUV-излучения на длине волны 13,5 нанометра стабильно держится выше 92%, а эффективность преобразования энергии составляет 7,1%. Это значительно превосходило показатели LPP-источников, которыми владела «АСМЛ».
Эти цифры означали одно: технология достигла коммерческих стандартов!
Однако впереди всё еще маячили огромные трудности и неопределенность.
Например, импульсный разряд и сама плазма генерировали чудовищное количество тепла. Вращающаяся мишень и жидкостная пленка требовали мощнейшей системы охлаждения, а нынешние технологии термоменеджмента просто не справлялись с такой нагрузкой.
Прокладывая новый путь, ты получаешь право единоличного владения им, но при этом вынужден самостоятельно, шаг за шагом, создавать всё сопутствующее оборудование и технологии.
Путь был долгим и тернистым!
* * *
Ближе к вечеру Чэнь Яньсэнь после окончания рабочего дня не поехал на свою виллу в «Дельте».